イオンマイグレーションの評価と分析について

English here

1.マイグレーション現象とは

  1. エレクトロマイグレーションの定義
  2. エレクトロマイグレーションとイオンマイグレーション
  3. イオンマイグレーションの種類
  4. イオンマイグレーションのメカニズム

2.試験結果に影響を与える種々の条件

  1. 電界、温度、湿度、素材、形態
  2. 不純物

3.試 料

  1. 電極の形状
  2. 前処理
  3. 作成後
  4. 試験開始

4.イオンマイグレーション試験

  1. 環境試験法(Humid)
  2. 液中試験法(Wet)

5.イオンマイグレーションの評価方法

  1. 光学的観察
  2. 絶縁抵抗値
  3. 誘電特性
  4. SEM観察
  5. 組成分析法
  6. 放射化分析
  7. 軟X線による観察
  8. AFMによる観察
  9. レーザ顕微鏡による観察 

6.むすび

 参考文献

 ホームへ戻る     次へ